首頁 > 產(chǎn)品中心 > 高精度電動平臺系列 > 納米壓電平臺
| 型號 | PT-NM100 | PT-NM100Z15 |
| 運動軸 | X/Y | X/Y/Z |
| 傳感器類型 | 電容式 | 電容式 |
| 閉環(huán)行程 | 100/100μm | 100/100/15μm |
| 閉環(huán)分辨率 | 0.5/0.5nm | 0.5/0.5/0.1nm |
| 線性度 | 0.02/0.02% | 0.02/0.02/0.03% |
| 無載諧振頻率 | 850/850Hz | 600/600/900Hz |
| 驅(qū)動電壓 | -30～+150V | -30～+150V |
| 電纜長度 | 2m | 2m |
| 連接器類型 | D-sub15 | D-sub15 |
| 位移臺材料 | 鋁合金 | 鋁合金 |
| 負載 | 5kg | 5kg |
| 體積 | 140 x 140 x 20.8mm | 140 x 140 x 30.2mm |
產(chǎn)品描述：
納米位移系統(tǒng)的應(yīng)用越來越廣泛，從原子力顯微鏡、精密光學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備到各種高新技術(shù)行業(yè)。
納米位移臺是一種機械裝置，內(nèi)部有一個或多個壓電陶瓷，由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運動。設(shè)計和制造的納米位移臺使用柔性鉸鏈將技術(shù)將運動裝置連接到固定基座上。納米位移臺內(nèi)置高精密傳感器，閉環(huán)控制時，傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下，可以實現(xiàn)納米級別、亞納米級別的分辨率。
控制器為納米位移臺提供電源。在閉環(huán)控制時，納米位移臺內(nèi)部的傳感器為控制器提供位移數(shù)據(jù)?？刂破髦芷谛缘奶幚砦灰茢?shù)據(jù)并修正輸出電壓信號，從而使位移數(shù)據(jù)與指令數(shù)據(jù)相同。
納米位移系統(tǒng)通常作為大型設(shè)備的一個部件，因而納米位移系統(tǒng)與其他硬件良好配合是相當重要的?？刂破鲗ν馔ㄐ欧绞接卸喾N，常用的方式是通過BNC模擬信號(-10V~10V)控制納米位移臺的位移。還可以通過USB接口和數(shù)字IO實現(xiàn)與控制器的通信?？刂破鲀?nèi)部軟件實現(xiàn)了基于PID算法、陷波濾波器的閉環(huán)控制，內(nèi)部集成了正弦波、方波和三角波的波形發(fā)生器。
產(chǎn)品尺寸圖：
PT-NM100：
PT-NM100Z15：
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